半导体学业界国际领先人才都在这次会议聚齐了
“集成电路芯片是现代产业技术之基，而光刻是集成电路之基。”12月12日，在广东佛山召开的第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）上，大会主席、季华实验室理事长兼主任曹健林如是说。
本次会议共计持续2天，以线上线下互动方式展开。在此期间，来自Nikon、暨南大学等公司机构和高校的特邀嘉宾分别就拟定的主题做特邀报告，深入分析光刻领域先进节点最新的技术手段和解决方案，内容丰富。近年来，中国集成电路蓬勃发展，国际先进光刻技术研讨会也应运而生，并已度过四个年头。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台，参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果，研讨即将面临的技术挑战。报告内容涉及广泛，涵盖了当前的技术现状、未来的发展趋势以及面临的挑战等。
大会主席、大联盟副理事长兼秘书长叶甜春在开幕式上表示，目前，我国已经成为全球集成电路产业发展的重要阵地，并且拥有全球最大的集成电路终端应用市场。当然，我国的集成电路技术发展还在追赶国际发达国家中。“涉及到工业基础、经济基础、人才基础等等方面，中国的集成电路技术研究、产业还在追赶学习之中。在这个过程中，我们更重要的是要做好主流技术的生产应用中。”曹健林称，要想做好技术应用落地和普及化，一方面是技术供应端的应用发展和降成本，技术承接者自身也要提高技术水平，能够接得住技术的落地。
广东是我国信息产业第一大省，2020年全省电子信息产业营业收入约5万亿元，连续30年居全国第一，在消费电子、通信、人工智能、汽车电子等领域拥有国内最大的半导体及集成电路应用市场，集成电路进口金额占全国的40%左右。2019年中共中央、国务院印发《粤港澳大湾区发展规划纲要》。按照规划纲要，粤港澳大湾区要建成充满活力的世界级城市群、国际科技创新中心，成为高质量发展的典范。佛山身处广东和粤港澳大湾区之中，拥有得天独厚的地理优势。曹健林表示，佛山拥有全国领先的家电产业集聚群，能够支撑集成电路的研发和制造，是集成电路产业的“大客户”。而在集成电路制造的装备提供方面，佛山还有很大的发展空间。
来源 |：羊城晚报·羊城派
